測定機器や検査機器のフォーカスやスキャンに使用されるような高精度リニアポジショニングシステムでは、多くの場合、2つの異なる動作モード、すなわち高速モード(100mm/秒)と低速モード(20nm/秒)が求められます。高速モードでは移動時間を短縮し、低速モードでは精度を確保します。これまでは、ボールねじまたはリニアモーターで駆動するステージと、その上に設置された電動マイクロメーターまたは圧電モーターで駆動するステージという、別々のステージが一般的な設計でした。
エンジニアたちは、代替アプローチとして、2つの独立した駆動システムを備えた経済的なシングルステージを開発しました。2つの回転モーター(標準DCサーボモーターとPiezoLegモーター)が、Steinmeyer製の高精度ボールネジの両端に取り付けられています。PiezoLegモーターとボールネジの接続は電磁クラッチによって制御されます。DCサーボモーターは常に接続されていますが、高速移動時のみ電力が供給されます。
高速モードでは、クラッチがPiezoLegのモーターへの通電と切断を行います。駆動は、ロータリーエンコーダを備えた従来のDCモーターが引き継ぎます。高速動作を迅速に実行できるため、DCモーターの発熱は非常に少なくなります。ボールねじのピッチに応じて、使用可能な速度は0.1~100mm/秒の範囲です。
クラッチ電源をオフにすると、PiezoLegのモーターはボールネジに接続されます。高解像度のリニア計測サブシステムが、モーションコントローラに位置情報を提供します。クラッチ電源をオフにすると、電磁石による熱の影響が最小限に抑えられます。また、休止位置ではピエゾモーターは受動ブレーキとして機能し、ステージの不要な動きを防ぎます。PiezoLegモーターへの切り替え後は、0.15~約0.00002mm/秒(20nm/秒)の速度範囲が可能です。低速域での速度安定性は、使用するリニアスケールの分解能に依存します。
最高速度と最低速度の比は100万対1以上で、高速から高精度の低速へ、あるいはその逆の切り替えが可能です。どちらのモードでも、移動は位置決めシステムの移動範囲によってのみ制限されます。
投稿日時: 2021年5月26日