Ölçüm ve inceleme ekipmanlarında odaklama ve tarama için kullanılanlar gibi son derece hassas doğrusal konumlandırma sistemleri genellikle iki farklı hareket moduna ihtiyaç duyar: hızlı bir mod (100 mm/sn) ve ardından daha yavaş bir mod (20 nm/sn). Hızlı mod hareket süresini azaltırken, daha yavaş mod hassasiyeti garanti eder. Şimdiye kadar, yaygın bir tasarım ayrı aşamalar kullanıyordu, biri bilyalı vida veya doğrusal motorla çalıştırılırken, ikincisi birincinin üstüne monte edilmiş ve motorlu bir mikrometre veya piezoelektrik motorla çalıştırılırdı.

Mühendisler alternatif bir yaklaşım geliştirdiler: iki bağımsız tahrik sistemine sahip ekonomik tek aşamalı bir sistem. İki döner motor, bir standart dc servo motor ve bir PiezoLeg motor, Steinmeyer yüksek hassasiyetli bilyalı vidanın her iki ucuna monte edilmiştir. Elektromanyetik bir kavrama, PiezoLeg motoru ve bilyalı vida arasındaki bağlantıyı kontrol eder. DC servo her zaman bağlıdır, ancak yalnızca hızlı hareketler için güç sağlar.

Yüksek hız modunda, kavrama PiezoLeg'in motorunu harekete geçirir ve devreden çıkarır. Döner kodlayıcıya sahip geleneksel bir DC motor sürüş görevini üstlenir. Yüksek hızlı hareketler hızlı bir şekilde gerçekleştirilebildiğinden, DC motor tarafından getirilen ısı çok düşüktür. Bilyalı vidanın eğimine bağlı olarak, kullanılabilir hız 0,1 ila 100 mm/sn arasında değişir.

Kavrama gücü kapalıyken, PiezoLeg'in motoru bilyalı vidaya bağlanır. Yüksek çözünürlüklü doğrusal ölçüm alt sistemi hareket kontrolörüne konum bilgisi sağlar. Kavrama gücü kapalıyken, elektromıknatıslardan kaynaklanan ısı etkileri en aza indirilir. Ve dinlenme pozisyonunda piezomotor pasif bir fren gibi çalışır — istenmeyen sahne hareketini önler. Ancak, PiezoLeg motoruna geçildikten sonra, 0,15 ila yaklaşık 0,00002 mm/sn (20 nm/sn) hız aralığı mümkündür. Daha düşük hız aralığındaki hızların kararlılığı, kullanılan doğrusal ölçeğin çözünürlüğüne bağlıdır.

Maksimum ve minimum hız oranı 1 milyona 1 veya daha yüksektir ve hızlıdan yüksek hassasiyetli yavaş hıza ve tam tersine geçiş yapmak mümkündür. Her iki moddaki hareket yalnızca konumlandırma sisteminin seyahat aralığı ile sınırlıdır.