선형 단계는 모션 시스템에 의해 이동하는 물체의 운동 축을 안정화시킵니다. 생성 된 슬라이딩 모션으로 인해 일부 사람들은 장치를 선형 슬라이드라고하며, 이는 스테이지의 선형 모션 베어링 구성 요소입니다. 선형 또는 번역의 일부에는 스테이지에는 선형 모션 베어링과 가이드로 연결된 플랫폼 및베이스가 포함됩니다. 이 시스템은 x, y 또는 수직 z 축이든 단일 축을 따라 모션 변환을 허용합니다.
선형 단계의 플랫폼은 항상베이스와 관련하여 움직입니다. 모션은 장치 안내서에 의해 하나의 축로 제한됩니다. 가이드의 유형에는 볼 베어링 스타일이 포함되어 있으며, 짧은 여행 거리와 체중이 적고 체중이 적고 가장 저렴합니다. Flexure Guide는 매우 정확하고 착용하지 않지만 여행 범위가 짧습니다. 교차 롤러 베어링, 고용량 원통형 슬리브 및 도베 테일 가이드는 선형 단계와 함께 사용되는 일반적인 스타일입니다.
번역 단계의 선형 액추에이터는 플랫폼이 움직일 때 플랫폼의 위치를 제어합니다. 수동 구성에서 리드 나사의 컨트롤 노브는 스테이지의 각도 위치를 나타냅니다. 광학 애플리케이션에서 정밀 단계는 리드 나사가 허용하는 것보다 정확도가 높아 지므로 미세 피치 나사 또는 마이크로 미터가 플랫폼의 금속 패드에 부착됩니다. 모션은 또한 스테퍼 모터에 의해 제어 될 수 있으며, 이는 모션 응용 프로그램의 단계라고하는 증분으로 이동하도록 설정됩니다.
인코더가있는 DC 모터는 선형 단계에 통합 될 수 있습니다. 고정 증분 모션은이 유형에 적용되지 않으므로 스케일이 스테이지에 통합되고 인코더는 스케일과 관련하여 스테이지 위치를 측정합니다. 위치 데이터는 스테이지를 자동으로 사전 설정 위치로 이동시키는 컨트롤러로 릴레이됩니다. 하나 이상의 운동 축이 필요한 시스템은 현미경에 사용되는 2 축 스테이지와 같은 선형 단계를 결합 할 수 있습니다. 수직 운동이 필요한 경우 3 축 단계가 사용됩니다.
모션 시스템의 경우 정확도가 중요합니다. ABBE 오류는 시스템의 각도 오류로 인한 일반적인 변위입니다. 다른 오류로는 피치, 롤 및 요이 포함되며 X 및 Y 축의 정확도는 다른 축의 직교 정렬에 따라 다릅니다. 선형 단계는 또한 로터리 및 기울기 컨트롤을 포함하여 최대 6 개의 운동 축을 허용 할 수 있습니다.
시간 후 : 9 월 11-2023 년