선형 스테이지는 모션 시스템에 의해 움직이는 물체의 운동축을 안정화합니다. 이러한 슬라이딩 운동으로 인해 일부 사람들은 이 장치를 선형 슬라이드라고 부르는데, 이는 스테이지의 선형 모션 베어링 구성 요소입니다. 선형 또는 이동 스테이지의 구성 요소는 선형 모션 베어링과 가이드로 연결된 플랫폼과 베이스로 구성됩니다. 이 시스템은 X축, Y축 또는 수직 Z축 등 단일 축을 따라 모션 이동을 허용합니다.
선형 스테이지의 플랫폼은 항상 베이스를 기준으로 이동합니다. 움직임은 장치의 가이드에 의해 한 축으로 제한됩니다. 가이드 유형에는 볼 베어링 방식이 있는데, 볼 베어링 방식은 이동 거리가 짧고 무게에 대한 지지력이 낮으며 가장 저렴합니다. 플렉셔 가이드는 정확도가 높고 마모가 없지만 이동 범위가 짧습니다. 크로스 롤러 베어링, 대용량 원통형 슬리브, 도브테일 가이드도 선형 스테이지에 일반적으로 사용되는 방식입니다.
이동 스테이지의 선형 액추에이터는 플랫폼이 이동할 때 위치를 제어합니다. 수동 구성에서는 리드 스크류의 제어 노브가 스테이지의 각도 위치를 나타냅니다. 광학 응용 분야에서 정밀 스테이지는 리드 스크류보다 더 높은 정확도를 요구하므로, 미세 피치 스크류 또는 마이크로미터가 플랫폼의 금속 패드에 부착됩니다. 모션은 스테퍼 모터로도 제어할 수 있으며, 모션 응용 분야에서는 스텝이라고 하는 증분 단위로 이동하도록 설정됩니다.
인코더가 있는 DC 모터를 선형 스테이지에 통합할 수 있습니다. 이 유형에는 고정 증분 모션이 적용되지 않으므로, 스케일이 스테이지에 통합되고 인코더가 스케일을 기준으로 스테이지 위치를 측정합니다. 위치 데이터는 컨트롤러로 전달되어 스테이지를 자동으로 사전 설정된 위치로 이동시킵니다. 두 개 이상의 모션 축이 필요한 시스템은 현미경에 사용되는 2축 스테이지와 같이 선형 스테이지를 결합할 수 있습니다. 수직 모션이 필요한 경우에는 3축 스테이지를 사용합니다.
모션 시스템의 경우 정확도가 중요합니다. 아베 오차는 시스템의 각도 오차로 인해 발생하는 일반적인 변위입니다. 다른 오차로는 피치, 롤, 요 오차가 있으며, X축과 Y축의 정확도는 다른 축의 직교 정렬에 따라 달라집니다. 선형 스테이지는 회전 및 틸트 제어 기능을 포함하여 최대 6축의 모션을 구현할 수 있습니다.
게시 시간: 2023년 9월 11일