측정 및 검사 장비에 초점을 맞추고 스캔하는 데 사용되는 매우 정확한 선형 위치 지정 시스템에는 종종 두 가지 다른 모션 모드가 필요합니다. 빠른 (100mm/sec)와 느린 1 (20 nm/sec)이 필요합니다. 빠른 모드는 이동 시간을 줄이고 느린 모드는 정밀도를 보장합니다. 지금까지 일반적인 디자인은 볼 나사 또는 선형 모터로 구동되는 별도의 스테이지와 두 번째 디자인을 사용하여 첫 번째 마이크로 미터 또는 압전 모터로 구동되는 첫 번째 꼭대기에 장착되었습니다.

엔지니어는 대안 적 접근 방식을 개발했습니다. 두 개의 독립적 인 드라이브 시스템을 갖춘 경제적 인 단일 단계. 2 개의 로타리 모터, 표준 DC 서보 모터 및 피에 졸그 모터, Steinmeyer 고 정밀 볼 스크류의 양쪽 끝에 마운트합니다. 전자기 클러치는 Piezoleg 모터와 볼 스크류 사이의 연결을 제어합니다. DC 서보는 항상 연결되어 있지만 빠른 움직임에만 구동됩니다.

고속 모드에서 클러치는 피에 졸러의 모터에 활력을 불어 넣고 분리합니다. 로터리 인코더가 장착 된 기존의 DC 모터는 구동 작업을 인수합니다. 고속 이동은 빠르게 실행될 수 있기 때문에 DC 모터에 의해 도입 된 열은 매우 낮다. 볼 스크류 피치에 따라 사용 가능한 속도는 0.1 내지 100 mm/sec입니다.

클러치 전원이 꺼지면 Piezoleg의 모터가 볼 스크류에 연결됩니다. 고해상도 선형 측정 서브 시스템은 모션 컨트롤러에 위치 정보를 제공합니다. 클러치 전원이 꺼지면 전자기의 열 효과가 최소화됩니다. 그리고 나머지 위치에서 piezomotor는 수동 브레이크로 작동하여 원치 않는 무대 움직임을 방지합니다. 그러나, Piezoleg 모터로 전환 한 후, 0.15 ~ 약 0.00002 mm/sec (20 nm/sec)의 속도 범위가 가능합니다. 낮은 속도 범위에서 속도의 안정성은 사용 된 선형 스케일의 해상도에 따라 다릅니다.

최대 속도 대 최소 속도의 비율은 1 백만에서 1 이상이며 빠른 속도에서 고정식 느린 속도로 전환 할 수 있으며 그 반대도 마찬가지입니다. 두 모드의 움직임은 포지셔닝 시스템의 이동 범위에 의해서만 제한됩니다.