물품 집기 및 배치 작업에 사용되는 카르테시안 로봇.

위치 조정 스테이지와 테이블은 모션 제어 시스템에서 공작물을 고정하거나 특정 작업을 위해 원하는 위치에 배치하는 데 사용됩니다. 선형 또는 회전형 스테이지나 테이블은 대부분 완전한 모션 서브시스템을 구성합니다. 즉, 선형 모션 부품, 모터 또는 액추에이터, 엔코더, 센서, 컨트롤러와 같은 모션 제어 부품 시스템으로 이루어진 모션 시스템 그 자체입니다. 예를 들어, 위치 조정 스테이지는 일반적으로 선형 가이드 또는 캐리지와 구동 메커니즘으로 구성된 선형 모션 어셈블리입니다.

스테이지와 테이블은 산업용 로봇, 광섬유 및 포토닉스, 비전 시스템, 공작기계, 조립, 반도체 장비, 의료 부품 레이저 가공, 미세 가공, 전자 제품 제조 및 기타 산업 자동화 응용 분야와 같은 다양한 고성능 응용 분야에 사용됩니다.

스테이지는 여러 가지 유형의 움직임을 제공할 수 있습니다. 선형, 회전형, 또는 리프트형(Z축 위치 결정 스테이지) 등이 있습니다. 이러한 스테이지는 한 방향(또는 축)으로만 움직이도록 구성하거나, 여러 방향으로 움직이도록(XY 위치 결정), 또는 나노 위치 결정 응용 분야와 같이 마이크로미터 또는 나노미터 범위의 매우 작고 정밀한 움직임을 구현하도록 구성할 수 있습니다.

스테이지와 테이블의 위치 결정 구동 메커니즘은 비용 및 원하는 정확도를 포함한 여러 요인에 따라 크게 달라질 수 있습니다. 예를 들어, 스테이지는 선형 서보 모터로 구동되는 직접 구동 방식이나 모터와 기어 및 커플링의 조합으로 구동되는 방식, 선형 또는 회전 액추에이터로 구동되는 방식(전기 액추에이터, 공압 또는 유압 구동 방식 포함) 등이 있습니다. 그 외에도 벨트 및 풀리 시스템, 볼 스크류 또는 리드 스크류와 같은 방식이 사용될 수 있습니다.

정밀도와 정확도에 대한 요구 사항은 위치 결정 스테이지 조립에 사용되는 부품과 같은 설계 결정에도 영향을 미칠 수 있습니다. 신뢰성과 높은 정확도가 요구되는 스테이지에 사용되는 부품 중 하나는 공기 베어링입니다. 공기 베어링은 고정 요소와 움직이는 요소 사이에 압축된 공기막을 형성하여 하중을 지지합니다. 이러한 베어링은 상대 운동이 아닌 압력에 의해 공기막이 형성되기 때문에 일반적으로 공기정압 베어링이라고 합니다.

일반 베어링과 달리 공기 베어링은 표면이 기계적으로 접촉하지 않으므로 윤활이 필요하지 않습니다. 표면 마모가 없기 때문에 미립자가 발생하지 않아 클린룸 환경에 적합합니다. 깨끗하게 여과된 공기를 공급받으면 수년간 고장 없이 작동할 수 있습니다.

적절한 위치 결정 스테이지를 선택할 때 중요한 매개변수로는 애플리케이션에 필요한 해상도(또는 이동 또는 측정에 필요한 최소 증분), 요구되는 반복성 및 정확도, 그리고 백래시 및 히스테리시스와 같은 기타 기계적 매개변수 등이 있습니다.