リニア ステージは、モーション システムによって移動されるオブジェクトの移動軸を安定させます。生成される滑り運動により、この装置をリニア スライドと呼ぶ人もいます。これはステージの直線運動ベアリング コンポーネントです。リニアステージまたは並進ステージの一部には、リニアモーションベアリングとガイドによってリンクされたプラットフォームとベースが含まれます。このシステムでは、X、Y、または垂直 Z 軸のいずれであっても、単一の軸に沿ったモーション変換が可能です。
リニアステージのプラットフォームは常にそのベースに対して移動します。動きはデバイスのガイドによって 1 つの軸に制限されます。ガイドの種類にはボール ベアリング スタイルがあり、移動距離が短く、重量に対する容量が小さく、最も安価です。たわみガイドは精度が高く、摩耗しませんが、移動範囲が短くなります。クロスローラーベアリング、大容量円筒スリーブ、ダブテールガイドもリニアステージで使用される一般的なスタイルです。
移動ステージのリニア アクチュエータは、移動するプラットフォームの位置を制御します。手動構成の場合、親ネジの制御ノブがステージの角度位置を示します。光学アプリケーションでは、精密ステージには送りネジで許容されるよりも高い精度が必要となるため、ファインピッチネジまたはマイクロメーターがプラットフォーム上の金属パッドに取り付けられます。モーションはステッピング モーターによって制御することもできます。ステッピング モーターは、モーション アプリケーションではステップと呼ばれる増分で移動するように設定されています。
エンコーダ付き DC モータをリニアステージに統合できます。このタイプには固定増分動作が適用されないため、スケールがステージに組み込まれており、エンコーダがスケールに対するステージの位置を測定します。位置データはコントローラーに中継され、ステージが事前に設定された位置に自動的に移動します。複数の動作軸を必要とするシステムでは、顕微鏡に使用される 2 軸ステージなどのリニア ステージを組み合わせることができます。垂直方向の動きが必要な場合は、3 軸ステージが使用されます。
モーション システムでは精度が重要です。アッベ誤差は、システム内の角度誤差から生じる一般的な変位です。その他の誤差にはピッチ、ロール、ヨーなどがあります。X 軸と Y 軸の精度は、もう一方の軸の直交位置に依存します。リニア ステージには回転制御と傾斜制御を組み込むこともでき、最大 6 軸の動作が可能になります。
投稿日時: 2023 年 9 月 11 日