ガントリーシステム用のデカルトロボット

ポジショニングステージとテーブルは、動作制御システムで使用され、ワー​​クピースを押し続けたり、操作のために配置したりします。線形であろうとロータリーであろうと、ステージまたはテーブルは、ほとんどの場合、完全なモーションサブシステムです。つまり、これらは、線形モーションコンポーネント、モーターまたはアクチュエーター、エンコーダ、センサー、コントローラーなどのモーション制御コンポーネントのシステム自体で構成されています。たとえば、位置決め段階は、通常、線形ガイドまたは馬車と何らかのドライブメカニズムで構成される線形モーションアセンブリです。

ステージとテーブルは、産業用ロボット、光ファイバーとフォトニクス、ビジョンシステム、工作機械、アセンブリ、半導体機器、医療コンポーネントレーザー加工、マイクロマシング、電子製造、その他の産業自動化アプリケーションなど、さまざまな高性能アプリケーションで使用されます。

ステージは、いくつかの異なるタイプの動きの1つを提供できます。それらは、線形、回転、またはリフトタイプ（Z軸の位置決め段階）である可能性があります。これらの中で、それらは、一方向（または軸）のみ、複数の方向（XYポジショニング）での移動、または非常に小さく正確な動きを含む多くの異なる方法で構成できます。ナノメートルの範囲。

位置決め段階とテーブルのドライブメカニズムは、コストや望ましい精度を含む多くの要因に応じて、大きく異なります。たとえば、ステージは、線形サーボモーターによって駆動される直接駆動タイプ、またはモーターとギアリングとカップリングの組み合わせ、線形または回転式アクチュエータ駆動型（電気アクチュエーター、または空気圧または油圧作動のいずれか）によって駆動される場合があります。その他の方法には、ベルトとプーリーのシステム、ボールネジ、またはリードネジが含まれます。

精度と精度の要件は、ポジショニング段階の組み立てに使用されるコンポーネントなどの設計上の決定を決定することもできます。信頼性と高精度が必要な段階で使用される1つの種類のコンポーネントは、エアベアリングです。エアベアリングは、固定要素と移動要素の間に加圧された空気の薄い膜で荷重をサポートします。それらは通常、相対的な動きではなく圧力源が空気の膜を供給するため、空気圧症と呼ばれます。

通常のベアリングとは異なり、空気ベアリングの表面は機械的な接触をしないため、これらのシステムを潤滑する必要はありません。表面が摩耗しないため、システムは微粒子を生成しないため、クリーンルームのアプリケーションに適しています。きれいなろ過された空気が供給されると、ベアリングは長年にわたって失敗なく動作できます。

適切な位置決め段階を選択するためのいくつかの重要なパラメーターには、アプリケーションの必要な解像度（または移動または測定に最小の増分）、必要な再現性と精度、およびバックラッシュやヒステリシスなどのその他の機械的パラメーターなどがあります。