ガントリーシステム用直交ロボット

位置決めステージとテーブルは、モーションコントロールシステムにおいて、ワークピースを固定したり、何らかの操作のために位置決めしたりするために使用されます。ステージやテーブルは、直線型か回転型かを問わず、ほとんどの場合、完全なモーションサブシステムです。つまり、ステージやテーブル自体が、直線運動部品、モーターまたはアクチュエーター、エンコーダー、センサー、コントローラーなどのモーションコントロールコンポーネントのシステムで構成されたモーションシステムです。例えば、位置決めステージは、通常、リニアガイドまたはキャリッジと何らかの駆動機構で構成される直線運動アセンブリです。

ステージとテーブルは、産業用ロボット、光ファイバーおよびフォトニクス、ビジョン システム、工作機械、アセンブリ、半導体装置、医療部品のレーザー加工、マイクロマシニング、電子機器製造、その他の産業オートメーション アプリケーションなど、さまざまな高性能アプリケーションで使用されます。

ステージは、様々な種類の動作を提供できます。直線型、回転型、さらにはリフト型（Z軸位置決めステージ）などがあります。これらのステージは、一方向（または軸）のみの動作、複数方向（XY位置決め）、あるいはマイクロメートルまたはナノメートル単位の移動を必要とするナノ位置決めアプリケーションのような極めて微小かつ精密な動作など、様々な構成が可能です。

ステージやテーブルの位置決め駆動機構も、コストや求められる精度など、様々な要因によって大きく異なります。例えば、ステージは、リニアサーボモーターによるダイレクトドライブ方式、モーターとギア、カップリングの組み合わせによる駆動方式、リニアアクチュエータまたはロータリーアクチュエータ（電動アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータなど）による駆動方式などがあります。その他の方式としては、ベルトとプーリーによる駆動、ボールねじ、リードスクリューなどがあります。

精度と正確さの要件は、位置決めステージの組み立てに使用する部品などの設計決定にも影響を及ぼします。信頼性と高精度が求められるステージで使用される部品の一つに、エアベアリングがあります。エアベアリングは、固定要素と可動要素の間に加圧された薄い空気膜を形成し、荷重を支えます。相対運動ではなく圧力源によって空気膜が供給されるため、一般的に空気静圧ベアリングと呼ばれます。

通常のベアリングとは異なり、エアベアリングの表面は機械的に接触しないため、潤滑は不要です。表面が摩耗しないため、微粒子が発生しないため、クリーンルームでの使用に適しています。清浄でろ過された空気を供給することで、ベアリングは長年にわたり故障なく動作します。

適切な位置決めステージを選択するための重要なパラメータには、アプリケーションに必要な解像度（または移動または測定の最小増分）、必要な再現性と精度、バックラッシュやヒステリシスなどのその他の機械的パラメータなどがあります。